
氮化硅坩埚
- 江苏宏基高新资料获得半导体用等静压石墨坩埚打磨操控专利可以减低粉尘飘散至车间的概率
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金融界2024年9月18日音讯,天眼查知识产权信息数据显现,江苏宏基高新资料股份有限公司获得一项名为“一种半导体用等静压石墨坩埚打磨操控办理体系“,授权公告号CN118322048B,请求日期为2024年6月。
专利摘要显现,本请求触及一种半导体用等静压石墨坩埚打磨操控办理体系,触及等静压石墨的技术领域,包含打磨箱、操控模块、打磨模块、喷淋模块和负压模块,打磨模块用于对坩埚标明上进行打磨,喷淋模块用于对坩埚标明上进行喷淋,打磨箱的下方设置排出管,排出管上设有三通阀,负压模块经过三通阀的一出口和打磨箱相连通,操控模块操控打磨模块对坩埚进行打磨,并操控负压模块对打磨箱内进行抽吸,使得打磨箱内处于负压,在打磨完成后,操控喷淋模块对坩埚标明上进行喷淋,并操控三通阀切换,使得喷淋液从三通阀的另一出口排出。